日本政府が7月に輸出管理を厳格化した半導体関連材料3品目のうち、液体フッ化水素の輸出を許可したと複数の韓国メディアが17日までに報じた。輸出管理の厳格化後、すでにレジスト（感光材）やフッ化ポリイミド、気体のフッ化水素は輸出されているが、事実なら半導体生産に欠かせない液体のフッ化水素の輸出許可は初めてとなる。
聯合ニュースによると、日本政府が最近、フッ素化合物大手のステラケミファが申請した液体フッ化水素の韓国向け輸出を許可したと韓国側に通報した。半導体メモリー世界大手のサムスン電子やSKハイニックス向けという。
日本政府は7月にスマートフォン用の有機ELパネルの材料となるフッ化ポリイミド、半導体のシリコンウエハーに塗る高品質なレジストと、半導体製造工程の洗浄に用いるフッ化水素の3品目について、輸出案件ごとに個別許可を求めるよう改めた。
フッ化水素は気体のエッチングガスについては輸出許可を出したが、最先端半導体の生産に使う高純度の液体は輸出を認めてこなかった。
